在大规模集成电路生产的超洁净技术中(如0。1um，1级)，由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级(1000级)的程度!在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。检测要求一般采取粒子计数器法进行检漏，被检高效空气过滤器必须已检测过风量，并在设计风速的80%～120%进行！对于被检高效空气过滤器上风侧的微粒浓度符合下列要求：对受控微粒≥0。5um的浓度，必须大于等于5*104pc/L对受控微粒≥0。

　　1um的浓度，必须大于等于5*106～5*107pc/L检测方法采用扫描法对高效空气过滤器安装接缝和主断面进行检测，监测点应距被测表面20～30mm，测头以5～20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描!粒子计数器的小采样量大于1L/min.检测设备光散射粒子计数器其工作原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系，测量微粒粒径大小！

　　光散射粒子计数器一般由气路系统、光学系统、电路系统和电源等部分组成!激光粒子计数器其工作原理与光散射粒子计数器基本相同，但因采用了比光散射粒子计数器强100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒径的检测范围达0！1μm。凝聚核粒子计数器它是利用饱和蒸汽让微小粒子凝聚为大粒径粒子，进行微粒粒子浓度测定!工作原理为：采样空气中的微粒，经过温度为35℃的饱和管，然后在温度为10℃的凝聚管内由媒介液进行凝聚，直至增大到能够检测到散射光的粒径为止，其他部分与一般光散射粒子计数器相同.

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　　耐高温高效过滤器技术参数如下：如何选择烘箱耐高温空气过滤器？烘箱外壳一般采用薄钢板制作，表面烤漆，工作室采用的结构钢板制作!外壳与工作室之间填充硅酸铝纤维.加热器安装底部，也可安置顶部或两侧!温度控制仪表采用数显智能表，PID调节：配置9999小时时间控制器并与报警装置相连接!使烘箱的操作更简便，快捷与有效。烘箱广泛应用于光电、电子、电机、通讯、电镀、塑料、机械、制药、食品设备等的精密烘烤、烘干以及定型生产线中。

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　　耐350-400℃耐高温高效过滤器在高温设备内缓慢升温至100℃，然后恒温2小时后停机冷却；调温至150℃1小时后停机冷却调温至200℃1小时后停机冷却调温至250℃1小时后停机冷却调温至300℃1小时后停机冷却调温至350℃1小时后停机冷却调温至400℃1小时后停机冷却最后缓慢冷却后，即可正常使用.耐高温高效过滤器特性：所用滤料：耐高温玻纤；外框材质：不锈钢；分隔物：铝箔；密封物：耐高温密封胶；结构：有隔板结构；过滤效率高、阻力低、容尘量大；产品优势：目前已逐渐代替传统的有隔板过滤器，成为较常用的过滤器品种!

　　耐高温高效过滤器适用于要求烘干的超洁净烘箱或要求高温空气净化系统，主要用来过滤0。3um以下的空气颗粒。目前已逐渐代替传统的有隔板高效过滤器，成为较常用的高效过滤器品种!洁净室的检测与认证--高效空气过滤器检漏高效空气过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能实验检测（如DOP测试等），并提供合格证(性能实验结果)。对于5级(100级)以上洁净室所使用的高效空气过滤器，在现场应再次进行高效空气过滤器本体的性能检测，同时进行检漏试验以确认高效空气过滤器是否正确安装。