Z;行程(μm):100/200;分辨率(nm):0!1/0。2;重复精度(全行程)nm:0!2/0。4;本底噪声nm:0.01/0!02;传感器:硅传感器闭环反馈;型号:Z-insert;行程(μm):100/200/300/500;分辨率(nm):0.1/0.2/0.3/0。5;重复精度(全行程)nm:0!2/0!4/0.6/0;本底噪声nm:0!01/0!02/0!03/0.05;传感器:硅传感器闭环反馈;型号:Z-insert-K-TYPE;行程(μm):100/200/300;分辨率(nm):0。
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