皮米精度位移激光干涉仪（可试用）昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其du特的测量原理，相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（参考腔）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的jue对距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到5M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差.

　　工作距离大至5m（与传感头相关）目标速度＜3m/s三个传感接口，可实现多设备同步探测器分辨率达到1pm应用领域：极限环境下振动分析缓慢漂移及热膨胀检测精密设备位置控制纳米级位移测量层状结构中间隙和边缘的测量位移和振动精度评估皮米精度位置测量仪参数列表：干涉仪传感头光源DFB激光器分辨率1pm功率400uW相对距离稳定性0！05nm波长1535nm相对对距离精度0。2nm/mm线宽5MHz带宽25kHz传感器通道3工作距离20-5000mm光纤输入端口FCNarrow-Key-Slot目标速度3m/sMatingSleeves传感头真空低温同步多台设备同步大量程、高精度的jue对距离测量方法主要分为两类：一类是相干测量，另一类是非相干测量。

　　相干测量主要包括多波长干涉测量、线性调频干涉测量以及基于光学频率梳的测量方法!非相干测量则主要包括飞行时间法和相位测距法，飞行时间法通过测量激光信号在测量端与目标端的飞行时间来计算被测的距离，测量距离大，可以达到几十千米；相位测量法通过对激光光强进行正弦调制，然后通过测量目标端与测量端的相位差来计算被测距离，本质上是将飞行时间转化为相位差进行测量，这种方法在大距离测量的时候由于环境因素的影响会导致回光能力的迅速衰减从而引起较大的测量误差，一般zui高只能达到0。

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　　皮米精度位移激光干涉仪（可试用）亚纳米级误差，jue对位移测量，非线性误差的you质解，纳米尺度测量的理想仪器！产品特点：多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用相对距离和jue对距离测量完善的全套系统配置实时输出数字化图像针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案长期使用保证稳定性兼容真空与各种恶劣环境du特优势：jue对距离高精度测量！不存在非线性及周期性误差。相对距离信号稳定性0.05nm!

　　用于测量高温漂移物体的传感器头的设计镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头环境测试模块（AMU）环境测试模块（AMU）设计用于补偿由温度T、压力p和相对湿度rH波动引起的折射率变化，总体精度为1ppm.频率扫描jue对测距法：频率扫描jue对干涉测距技术是一种无需靶标或标记点、能够快速测量漫反射体表面信息并且测量精度很高的测距方式，因此得到了人们的广泛关注.德国qutools公司新推出的皮米级别位移干涉测量仪quDIS便是基于上述频率扫描原理的干涉仪!

　　此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到！du特的法珀腔+饱和吸收气室构造波长的线性变化的引入在此构造下使得jue对距离的测量成为可能.干涉传感头激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的，根据反射目标的不同，不同的应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束!quDIS的传感器头均基于光纤设计.quDIS为常规情况下的使用提供标准准直仪和定焦传感头，同时根据具体的需要以及恶劣环境下的应用，也设计了响应的特殊传感头.

　　传统的干涉测距法都是待测目标移动产生的和参考光路不同的光程差，产生干涉现象!而除了光路长度的改变，在恒定路径下激光波长的改变也会导致信号的干涉调制!通过激光器控制扫描波长，控制引入多个波长变化，这样避免了静态状态下的相对误差.这种方法称为“干涉光谱学”.“干涉光谱法”与饱和吸收室(GC)结合使用可以实现jue对距离的测量。昊量光电新推出的皮米精度位移干涉仪quDIS通过将可调激光器的频率锁定到F-P干涉仪的的谐振频率上，将干涉仪的位移测量转换为频率变化的测量.

皮米精度位移激光干涉仪-皮米级测振仪

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