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14、稳定的气路系统:
(1)载气流量采用先稳压后稳流的双重稳定设计;
(2)精确的气路控制阀件,具有高重现性和高稳定性
主要性能特点:
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2 、采用全新双CPU设计、原装日本高集成的电子电路技术,优良的可靠性及抗干扰能力, 控温的精度达到0.1℃,显示精度更高达0.01℃,并且可同时显示各加热部位的功率耗用百分比
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