欣源科技（北京）有限公司多功能原子层沉积系统ALD(AtomicLayerDeposition)原子层沉积ALDALD原子层沉积镀膜atomiclayer原子层沉积Roll-to-Roll原子层沉积Roll-to-RollALD原子层沉积RolltoRoll原子层沉积RolltoRollALD原子层沉积快速原子层沉积ALD单原子层沉积ALD氧化物原子层沉积ALD国产原子层沉积系统ThermalALD原子层沉积PEALD原子层沉积PE-ALD原子层沉积PlasmaEnhancedALD原子层沉积等离子体增强ALD原子层沉积等离子体ALD原子层沉积多功能原子层沉积工业级原子层沉积热式原子层沉积系统工业量产及特殊定制原子层沉积系统定制原子层沉积系统欣源科技热式原子层沉积系统(ThermalALD)基本技术参数基片尺寸:4-12英寸可选样品高度:6mm,可选配更高样品选件基片温度:RT-400℃，控制精度±1℃，可选配更高温度选件前驱体输运系统:标准2路前驱体管路，可以选配到6路以上载气系统:N2或者Ar沉积模式:连续模式TM（FlowTM）、停流模式TM（StopFlowTM）、压力调谐模式TM（PreTuneTM）可选件:手套箱，大尺寸/多片样品夹具，颗粒包裹夹具，臭氧发生器，原位监测系统，尾气处理系统，客户定制反应腔等沉积均匀性:Al2O3均匀性/−1%电源:50-60Hz,220V/15A交流电源,标准金属机柜，易拆卸柜板，可调节支脚仪器尺寸:1100X600X1200mm详细信息请联系我们！欣源科技（北京）有限公司等离子体增强原子层沉积系统(PEALD,PlasmaEnhancedALD)基本技术参数:基片尺寸:4,8,12英寸可选基片温度:RT-600℃，控制精度±1℃，可选配更高温度选件前驱体输运系统:标准3路前驱体管路，可以选配到6路以上反应腔:喷淋式等离子体和前驱体进气口,铝制穹顶等离子体扩散腔沉积模式:热沉积模式、等离子增强模式、连续模式TM（FlowTM）、压力调谐模式TM（PreTuneTM）、单面沉积模式TM（SingleProTM）、离子束辅助沉积模式,以上可选等离子体气源:标准3路，可以选配到6路以上等离子体源:ICPremoteplasma500W,更大功率可选基片输运系统:手动,手动/自动Loadlock可选可选件:手套箱，臭氧发生器，原位监测系统，尾气处理系统，单面沉积模式附件,离子束辅助沉积模式附件沉积均匀性:Al2O3均匀性±1%仪器尺寸:1250(L)X800(W)X1800(H)mm详细信息请联系我们！欣源科技（北京）有限公司

汽车力-扭矩-温度-压力-NVH-遥测系统来自德国的全新的汽车领域测试系统------新技术提升传统汽车行业的测试水平欣源科技（北京）有限公司SYNERCE代理德国aixACCT汽车领域测试系统。主要产品包括以下几种：汽车六轴力和扭矩传感系统aixFORCE汽车齿轮NVH传感器In-GearNVH-Sensor汽车高速温度压力传感系统aixHSTPM汽车遥测系统TelemetrySystem

多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR(MagnetoResistiveMeasurement)本系统主要用于研究磁阻和铁性材料。本系统提供连续电流激励和测试，样品上的电压降通过高精度四点测试。

电子束能量分布测试仪diaBEAM（ElectronBeamProfiler）本设备主要用于电子束能量分布测试，进而可以控制电子束焊接质量。由德国aixACCTSystemsGmbH公司制造。

电子束光刻系统EBL(E-BeamLithography)电子束直写系统、电子束曝光系统CABL-9000Cseries30kV、50kV、90kV、110kV、130kV2inch、4inch、6inch、8inch、定制尺寸纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是好的方法之一。日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供的电子束纳米光刻（EBL）系统，或称电子束直写（EBD）、电子束爆光系统。型号包括CABL-9000C系列、CABL-9000TF系列、8000TF系列、CABL-4200LB及CABL-4200LB。其中CABL-9000C系列小线宽可达8nm，小束斑直径2nm，套刻精度20nm(mean2σ)，拼接精度20nm(mean2σ)。

储氢材料测试仪---压力组分温度PCT测试仪本设备是用于储氢材料测试的全自动压力组分温度PCT测试仪。是储氢材料研究与工业生产的标准测量设备。特点:单通道，多通道（2-6）制造工艺精良，系统耐压达10MPa严格的质量控制研究级软件，可控参数多，全自动/半自动/手动模式，面板控制，数据记录实时数据显示，界面友好，直观安全控制，过压／过温自锁功能等

来自德国aixACCT公司的TFANALYZER2000E/3000是扩展性极强的模块化铁电压电分析仪，具备铁电、压电、热释电材料所有基本特性测试功能，可与激光干涉仪和SPM扫描探针显微镜等微位移传感器联用，可广泛地应用于如各种铁电/压电/热释电薄膜、厚膜、体材料和电子陶瓷、铁电传感器/执行器/存储器等领域的研究。模块化设计的TFAnalyzer2000E/3000具有优异的扩展性。FE模块-铁电标准测试；MR模块-磁阻和铁性材料测试；RX模块-弛豫电流测试；DR模块-自放电测试。

RadioFrequencyGenerator射频发生器系列法国SAIREM公司是拥有40多年的微波和射频工程经验的高科技公司，可为用户定制电子设计、应用开发、工艺设计和生产标准化的微波、射频、直流发生器、等离子体源等相关产品。来自法国SAIREM公司的微波发生器和射频发生器，是高可靠性独立工作单元，被世界各地许多OEM厂商和研究实验室用来做设备集成。现代化的设计使他们易于集成和使用到各种各样的环境中。微波和射频发生器被设计成独立或远程操作、小的尺寸、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。详细和交互式的界面使它们易于使用，可以通过RS232、RS485或现场总线连接进行模拟控制，如CanOpen、Modbus、Profibus等。SAIREM微波发生器有标准配置的产品，也可根据用户要求进行特殊定制。SAIREM微波发生器的标准配置产品主要包括2.45GHz系列和915MHz系列，每个系列又包括固态发生器和磁控管式发生器，也有脉冲式和连续式可选，并有不同的功率可选，每种发生器按照控制模式又包括数显控制式和远程控制式。SAIREM射频发生器和直流发生器有标准配置的产品，也可根据用户要求进行特殊定制。SAIREM射频发生器的标准配置产品按照频率分为13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz三种，按照功率又可以分为2kW/4kW/6kW三种。SAIREM直流发生器的标准配置产品根据功率不同分为750W和1500W两种。

PlasmaSources等离子体源系列法国SAIREM公司是拥有40多年的微波和射频工程经验的高科技公司，可为用户定制电子设计、应用开发、工艺设计和生产标准化的微波、射频、直流发生器、等离子体源等相关产品。微波技术在等离子体实验室和工业中不断发现新的应用，这是由于微波等离子体的许多优点，例如，超密度等离子体-离子和活性物种，电极更少，在各种压力下的操作。微波辅助等离子体在金刚石沉积、表面活化、杀菌、纳米材料合成、气体净化等方面的应用。为了满足这些复杂技术所要求的越来越苛刻的要求，我们已经开发出了自己的等离子体源和反应器。我们可以提供关于选择等离子设备和适合你需要的微波频率的建议，还可根据要求提供特殊配置，并且乐于帮助开发您自己应用的设备。主要应用领域：分析金刚石沉积表面清洗蚀刻防止污染化学合成

法国SAIREM公司是拥有40多年的微波和射频工程经验的高科技公司，可为用户定制电子设计、应用开发、工艺设计和生产标准化的微波、射频、直流发生器、等离子体源等相关产品。来自法国SAIREM公司的微波发生器和射频发生器，是高可靠性独立工作单元，被世界各地许多OEM厂商和研究实验室用来做设备集成。现代化的设计使他们易于集成和使用到各种各样的环境中。微波和射频发生器被设计成独立或远程操作、小的尺寸、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。详细和交互式的界面使它们易于使用，可以通过RS232、RS485或现场总线连接进行模拟控制，如CanOpen、Modbus、Profibus等。SAIREM微波发生器有标准配置的产品，也可根据用户要求进行特殊定制。SAIREM微波发生器的标准配置产品主要包括2.45GHz系列和915MHz系列，每个系列又包括固态发生器和磁控管式发生器，也有脉冲式和连续式可选，并有不同的功率可选，每种发生器按照控制模式又包括数显控制式和远程控制式。SAIREM射频发生器和直流发生器有标准配置的产品，也可根据用户要求进行特殊定制。SAIREM射频发生器的标准配置产品按照频率分为13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz三种，按照功率又可以分为2kW/4kW/6kW三种。SAIREM直流发生器的标准配置产品根据功率不同分为750W和1500W两种。