日本KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。日本KASHIYAMA干式真空泵设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。设备分空冷式和水冷式,根据使用需求有不同的抽速可选择。NeoDry系列采用气镇结果,可以排出所吸取的水蒸气,延长真空泵的使用寿命。若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
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