无尘车间,亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。无尘车间被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。无尘车间根据空气洁净度划分为不同的等级,即十级、百级、千级、万级、十万级等。越靠前空气洁净度越高。无尘车间并不是真的无尘,而是将尘埃粒子降到低,尽可能是空气洁净。
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