- 产品名称:CRESTEC电子束光刻_超高分辨率仪器仪表直写-欣源科技(北京)有限公司
- 产品价格:7000000.00
- 产品数量:9999
- 保质/修期:1
- 保质/修期单位:年
- 更新日期:2021-01-03
型号包括CABL-9000C系列、CABL-9000TF系列、8000TF系列、CABL-4200LB及CABL-4200LB.其中CABL-9000C系列小线宽可达8nm,小束斑直径2nm,套刻精度20nm(mean2σ),拼接精度20nm(mean2σ)!欣源科技SYNERCE代理日本CRESTEC公司的电子束光刻系统,又称作电子束曝光、电子束直写、EBL、E-BeamLithography等。
==================================超高分辨率电子束光刻EBLUltrahighResolutionEBLithography(CABL-UHseries)纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是好的方法之一!日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供的电子束纳米光刻(EBL)系统,或称电子束直写(EBD)、电子束爆光系统.
我们推荐CRESTEC电子束光刻
电子束光刻系统EBL(E-BeamLithography)电子束直写系统、电子束曝光系统CABL-9000Cseries30kV、50kV、90kV、110kV、130kV2inch、4inch、6inch、8inch、定制尺寸纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是好的方法之一。日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供的电子束纳米光刻(EBL)系统,或称电子束直写(EBD)、电子束爆光系统!
描电镜分辨率:小于2nm主要特点:1!采用高亮度和高稳定性的TFE电子枪2.出色的电子束偏转控制技术3!采用场尺寸调制技术,电子束定位分辨率(addresssize)可达0.0012nm4!采用轴对称图形书写技术,图形偏角分辨率可达0!01mrad5!应用领域广泛,如微纳器件加工,Si/GaAs兼容工艺,研究用掩膜制造,纳米加工(例如单电子器件、量子器件制作等),高频电子器件中的混合光刻(Mix&Match),图形线宽和图形位移测量等!
高品质CRESTEC电子束光刻
包括30kV、50kV、90kV、110kV、130kV2inch、4inch、6inch、8inch、定制尺寸如有任何需求和相关问题,敬请电话或邮件垂询.技术参数:1.小线宽:小于10nm(可实现8nm)2!加速电压:5-50kV3.电子束直径:小于2nm4!套刻精度:20nm(mean2σ)5.拼接精度:20nm(mean2σ)6!加工晶圆尺寸:4-8英寸(standard),12英寸(option)7.
欣源科技(北京)有限公司,位于北京市海淀区信息路甲28号D座06A-6331。公司主营其他未分类行业,如何了解{推广产品}产品信息详情请拔打热线:13701223713少鹏。
注气离心厅缩机多用于海上采油平台,用燃气轮机驱动,气体和油冷却也都采用空冷型。这种压缩机趋向于采用组装式机组,以尽量减小占地面积和便于安装。前面说到的centregal型中压注气离心压缩机就是其中一例,其标准型为三缸。低压缸转速为20500转/分,中、高压缸转速为30500转/分,进口流量150米。/分,排气压力10.3兆帕,由3230千瓦燃气轮机驱动。机组尺寸为8.4×2.4×3米。该压缩机采用整体隔板,并采用三角截面式主轴。叶轮与轴为滑动配合,当施加一定转矩时便产生自锁作用。拆卸时反方向施加一定力矩,叶轮便可松脱。高压级的小流量叶轮采用比较先进的电子束焊接制造,利用电:子束从外部将盖盘焊在叶轮上。轴封为干式机械密封,省去密封油系统,简化了机组结构。