其实，作为一种氮化材料，氮化锰可应用在不同的领域中。由于锰、氮的各种作用，在炼制高强度钢、不锈钢、耐热钢时需要同时加人锰、氮元素。以单质形式加入锰、氮两种元素时，存在如氮的溶解度低、密度小、不易加入及氮的添加量不易控制等缺点。然而，以氮锰化合物形式加入时，不仅易于加入，并且锰、氮的利用率也高。为了能够加深大家对氮化锰的了解，掌握更多关于氮化锰的应用范围，将向大家简单的讲一下氮化锰薄膜的制作方法。传统的Mn基阻挡层主要通过PVD共沉积CuMn复合材料，然后使用热退火处理，使Mn扩散介质表面来实现。但是，在退火过程中，Cu与low-k（比如SiCOH）介质直接接触，将会导致Cu在介质材料中扩散；而且形成的MnSixOy薄膜导电性较差，一般为绝缘体，会导致RC延迟增加。以脉冲的方式向反应腔中通入Mn(EtCp)2蒸气，使之与衬底表面的Si-H或Si-OH活性基团发生反应（Mn(EtCp)2中某一个化学键断裂与衬底表面的悬挂键成键），在衬底上形成密集且均匀且密集吸附的Mn(EtCp)2层；通入吹洗用气体，以将反应...

氮化硅铁的合成方法主要有两种，一种新的氮化硅铁合成方法，即闪速燃烧合成法。氮化硅和氮化硅铁虽然是市场上应有较广泛的一种高温材料，但是氮化硅铁制备方法，大多都采用直接氮化法，碳热学原氮化法，气相沉积法，热分解法等。而下面将要讲解的闪速燃烧合成氮化硅铁的新工艺，能够在常压下连续，大规模和低成本地燃烧合成氮化硅与氮化硅铁。生产时将硅铁细粉和氮化硅铁混合，并连续计量送入预热达1200摄氏度的连续反应器内，同时通入氮气。氮化硅铁粉及氮化硅铁均匀分散开，并受重力和氮气阻力的作用，在热氮气中漂浮，下落，与热氮气充分接触换热，并被急速加热，在燃烧反应区与氮气迅速发生燃烧合成反应。反应自身产生大量的热量，可自维持闪速燃烧合成的连续进行。氮化硅铁作为一种新型的合成原料，相对于氮化硅而言价格更低廉，将其加入到耐火材料中也解决了氮化硅难以烧结的问题，在铁沟料、炮泥和复合材料中应用越来越多。用硅铁直接合成氮化硅铁结合SiC复合材料，为氮化硅铁的应用又提供了另一种思路。然而，目前用于生产氮化硅铁的硅源FeSi75合金，虽然已取代了更...

随着钢铁冶炼等高温技术的发展，耐火材料及原料的开发及研究迫在眉睫，合成原料作为一种具有发展前途的耐火材料得到越来越多的应用。氮化硅铁(Fe-Si3N4)是近些年来出现的一种新型合成原料，它是以FeSi75铁合金为原料，利用氮化技术和高温合成工艺来制备的。氮化硅铁因含有Si3N4相，而具有Si3N4的一些优异性能，如高的耐火度，良好的抗侵蚀性，高的力学强度，良好的抗热震性，较低的热膨胀率，较高的抗氧化性等一系列优点;又因其含有Fe塑性相而具有良好的烧结性能。同时，相对于氮化硅而言，氮化硅铁价格更低廉，也便于进行工业化推广和生产，因此已被用为耐火材料的原料、高温结合相和高温结构材料，现已广泛应用于高炉铁沟浇注料和炮泥中。近年来，对氮化硅铁材料及其在耐火材料中应用的研究越来越多，也取得了一些成果。在本文中，介绍了氮化硅铁的合成、特性及其在浇注料、炮泥和复合耐火材料中应用的研究进展，并对其进行了前景展望。目前氮化硅铁主要用于浇注料、炮泥和复合耐火材料等耐火材料中。1、浇注料氮化硅铁在浇注料中的应用主要侧重于Al2...