- 产品名称:高拼接套刻精度电子束光刻曝光机_EBL仪器仪表曝光-欣源科技(北京)有限公司
- 产品价格:7000000.00
- 产品数量:9999
- 保质/修期:1
- 保质/修期单位:年
- 更新日期:2021-01-03
==================================超高分辨率电子束光刻EBLUltrahighResolutionEBLithography(CABL-UHseries)纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是好的方法之一!日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供的电子束纳米光刻(EBL)系统,或称电子束直写(EBD)、电子束爆光系统!
电子束光刻系统EBL(E-BeamLithography)电子束直写系统、电子束曝光系统CABL-9000Cseries30kV、50kV、90kV、110kV、130kV2inch、4inch、6inch、8inch、定制尺寸纳米光刻技术在微纳电子器件制作中起着关键作用,而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是好的方法之一.日本CRESTEC公司为21世纪先进纳米科技提供的电子束纳米光刻(EBL)系统,或称电子束直写(EBD)、电子束爆光系统。
高拼接套刻精度电子束光刻曝光机
我们推荐高拼接套刻精度电子束光刻曝光机
描电镜分辨率:小于2nm主要特点:1!采用高亮度和高稳定性的TFE电子枪2!出色的电子束偏转控制技术3。采用场尺寸调制技术,电子束定位分辨率(addresssize)可达0!0012nm4!采用轴对称图形书写技术,图形偏角分辨率可达0!01mrad5!应用领域广泛,如微纳器件加工,Si/GaAs兼容工艺,研究用掩膜制造,纳米加工(例如单电子器件、量子器件制作等),高频电子器件中的混合光刻(Mix&Match),图形线宽和图形位移测量等!
高品质高拼接套刻精度电子束光刻曝光机
包括30kV、50kV、90kV、110kV、130kV2inch、4inch、6inch、8inch、定制尺寸如有任何需求和相关问题,敬请电话或邮件垂询!技术参数:1。小线宽:小于10nm(可实现8nm)2!加速电压:5-50kV3。电子束直径:小于2nm4.套刻精度:20nm(mean2σ)5。拼接精度:20nm(mean2σ)6!加工晶圆尺寸:4-8英寸(standard),12英寸(option)7!
型号包括CABL-9000C系列、CABL-9000TF系列、8000TF系列、CABL-4200LB及CABL-4200LB!其中CABL-9000C系列小线宽可达8nm,小束斑直径2nm,套刻精度20nm(mean2σ),拼接精度20nm(mean2σ)!欣源科技SYNERCE代理日本CRESTEC公司的电子束光刻系统,又称作电子束曝光、电子束直写、EBL、E-BeamLithography等!
欣源科技(北京)有限公司欣源科技(北京),我们巍峨耸立于北京市海淀区信息路甲28号D座06A-6331,我们在这里等待您的到来。 也可以通过电话联系: 联系方式:13701223713 联系人:少鹏 致电我们,有意向不到的惊喜!
因其大批量规模化生产,产量高、节奏快、构造精密、生产的机械化自动化程度在制造业中属较高水平。汽车制造行业需经电弧螺柱焊机加工的钢材占用钢总量的70%以上,因而电弧螺柱焊机设备用量大,要求高,需要多功能、高效率、高可靠性的产品,手工电弧焊机用量较少,更多地需要电阻焊机、特种焊机、专用及成套电弧螺柱焊机设备,如逆变式悬挂点焊机、凸焊机、缝焊机以及电子束焊机、激光焊机和由成套电弧螺柱焊机设备、电弧螺柱焊机机器人等组成的柔性电弧螺柱焊机生产线,都是汽车生产必须的电弧螺柱焊机设备。